发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6372130(A) 申请公布日期 1988.04.01
申请号 JP19870056502 申请日期 1987.03.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 HASHIMOTO TETSUKAZU;KAMIYAMA TAKAMITSU
分类号 H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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