发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6370554(A) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 JP19860213863 申请日期 1986.09.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOBAYASHI YUTAKA;OBAYASHI MASAYUKI;IKEDA TAKAHIDE;MIYAZAWA HIROYUKI;TANBA NOBUO;HORI RYOICHI;KITSUKAWA GORO;ITO KIYOO
分类号 H01L27/06;H01L21/8249 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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