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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6313344(B2)
申请公布日期
1988.03.25
申请号
JP19780136817
申请日期
1978.11.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
TAKASUGI NOBUHIRO;KYOMASU RYUICHI;TAKASHIMA KAZUHISA
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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