发明名称 APPARATUS FOR GROWING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6364992(A) 申请公布日期 1988.03.23
申请号 JP19860209462 申请日期 1986.09.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OSAWA AKIRA;HONDA KOICHIRO;FUKUDA TETSUO
分类号 C30B15/32;H01L21/18 主分类号 C30B15/32
代理机构 代理人
主权项
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