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发明名称 System for the plasma treatment of large area substrates
摘要
申请公布号 AU718941(B2) 申请公布日期 2000.05.04
申请号 AU19960063449 申请日期 1996.07.02
申请人 CHUNG CHAN 发明人 CHUNG CHAN
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H05H1/00;H01L21/306;C23C4/00 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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