发明名称 Microwave generated plasma light source apparatus
摘要
申请公布号 USRE32626(E) 申请公布日期 1988.03.22
申请号 US19860932416 申请日期 1986.11.20
申请人 发明人
分类号 F21S2/00;H01J65/04 主分类号 F21S2/00
代理机构 代理人
主权项
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