| 发明名称 |
METHOD OF FORMING CONDUCTIVE LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6362350(A) |
申请公布日期 |
1988.03.18 |
| 申请号 |
JP19870211541 |
申请日期 |
1987.08.27 |
| 申请人 |
SUTEIFUTERUSEN INST FUOOLE MIKUROBAAGUSUTEKUNIIKU |
发明人 |
SUTSURE PETAASON |
| 分类号 |
H01L29/872;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/74;H01L23/52;H01L29/47;H01L29/68;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/872 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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