发明名称 MICROWAVE PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS6360530(A) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 JP19860205360 申请日期 1986.09.01
申请人 DENKI KOGYO KK 发明人 ISHIBORI KOUICHI
分类号 H01L49/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L49/02
代理机构 代理人
主权项
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