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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6360272(A) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 JP19860201438 申请日期 1986.08.29
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD 发明人 KONO TOMOYUKI;OGAWA YOSHIFUMI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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