发明名称 DEVICE FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6360190(A) 申请公布日期 1988.03.16
申请号 JP19860204524 申请日期 1986.08.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HINATSU JIYUNJI
分类号 C30B15/14;H01L21/18 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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