发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6358858(A) 申请公布日期 1988.03.14
申请号 JP19860203035 申请日期 1986.08.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HASEGAWA HITOSHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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