发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING THIN METALLIC FILM
摘要
申请公布号 JPS6358623(A) 申请公布日期 1988.03.14
申请号 JP19860204110 申请日期 1986.08.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ANDO TOMOAKI;YAMAMOTO YOSHIAKI;SUZUKI SHIGEO
分类号 C23C14/06;C23C14/20;G11B5/85 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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