探测痕迹读取装置及探测痕迹读取方法

摘要

本探针痕迹读取装置1是用于读取形成于包含有半导体晶圆(wafer)90之半导体晶片之电极之探针痕迹之装置，其特征具备：CCD摄影机20，用于拍摄该半导体晶圆90，并做为影像信号Si输出；光学部21，以光学方法扩展该CCD摄影机20应拍摄之标的位置；光源30，利用被赋予闪光信号Sf之时间点起短时间发射之闪光照亮CCD摄影机20应拍摄之标的位置，XY台面40，根据马达控制信号Sm将半导体晶圆90载置成可向X方向与Y方向移动，使CCD摄影机20变更拍摄标的，以及电脑10，用于控制上述各构件，接受上述影像信号Si，并于修整(trimming)处理后储存该影像。