发明名称 PROBIMG APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6355948(A) 申请公布日期 1988.03.10
申请号 JP19860199449 申请日期 1986.08.26
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KARASAWA WATARU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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