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发明名称
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申请公布号 JPS6310752(B2) 申请公布日期 1988.03.09
申请号 JP19820039485 申请日期 1982.03.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAKAMI KANJI;KAWAMOTO MINEO;ITO YUTAKA;WAJIMA MOTOYO;MATSUDA YOICHI;AKABOSHI HARUO;KAWAKUBO SHOJI;YOSHIMURA TOYOFUSA
分类号 C23C18/20;C09J121/00;C09J161/00;C09J161/06;H01L21/70;H05K3/18;H05K3/38 主分类号 C23C18/20
代理机构 代理人
主权项
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