发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6354741(A) 申请公布日期 1988.03.09
申请号 JP19860197208 申请日期 1986.08.25
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN;ISHIDOBUAN BAARUSHIYONI;NISHIZAWA JUNICHI 发明人 ISHITOBUAN BAARUSHIYONI;NISHIZAWA JUNICHI
分类号 H01L21/74;H01L21/76;H01L29/41 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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