| 发明名称 |
IMPROVEMENTS IN REACTIVE ION ETCHING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU7809387(A) |
申请公布日期 |
1988.03.08 |
| 申请号 |
AU19870078093 |
申请日期 |
1987.08.12 |
| 申请人 |
AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY, THE, |
发明人 |
RODERICK WILLIAM BOSWELL |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/306;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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