发明名称 FORMATION OF MULTILAYERED INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPS6353952(A) 申请公布日期 1988.03.08
申请号 JP19860197782 申请日期 1986.08.22
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 SHIKADA SHINICHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址