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发明名称
METHOD OF FORMING FINE TRENCH
摘要
申请公布号
JPS6353931(A)
申请公布日期
1988.03.08
申请号
JP19860197545
申请日期
1986.08.22
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
IDOTA TAKESHI;TAKEUCHI YOSHINORI
分类号
H01L21/302;H01L21/306;H01S5/00
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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