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发明名称 Resist composition
摘要
申请公布号 EP1343047(A3) 申请公布日期 2004.01.02
申请号 EP20030004395 申请日期 2003.03.03
申请人 ASAHI GLASS COMPANY LTD. 发明人 OKADA, SHINJI;KAWAGUCHI, YASUHIDE;TAKEBE, YOKO;KANEKO, ISAMU;KODAMA, SHUN-ICHI
分类号 G03F7/027;C08F220/10;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
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