发明名称 细缝式涂布装置
摘要 一种改良式的细缝式涂布装置包含基座、细缝式涂布喷嘴及膜片。细缝式涂布喷嘴位于基座上方。膜片固定于细缝式涂布喷嘴上。膜片由细缝式涂布喷嘴向外延伸,且其宽度涵盖细缝式涂布喷嘴之吐出范围。当细缝式涂布喷嘴与基座藉相对运动,并挤压涂布材料于基材上时,膜片可增加涂膜时的稳定性。
申请公布号 TWI256906 申请公布日期 2006.06.21
申请号 TW093137641 申请日期 2004.12.06
申请人 展茂光电股份有限公司 发明人 刘昱庭;柯山文;谢秉原;陈重廷;顾鸿寿
分类号 B05C5/00 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 1.一种细缝式涂布装置,至少包含: 一基座,承载一基材; 一细缝式涂布喷嘴,位于基座上方;以及 一膜片,固定于该细缝式涂布喷嘴上,该膜片由该 细缝式涂布喷嘴向外延伸,且该膜片之宽度涵盖该 细缝式涂布喷嘴之吐出范围,当该细缝式涂布喷嘴 与该基座藉相对运动以挤压涂布材料于该基材上 时,该膜片可增加涂膜时的稳定性。 2.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置,其 中该膜片系固定于该细缝式涂布喷嘴之内侧。 3.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置,其 中该膜片系固定于该细缝式涂布喷嘴之外侧。 4.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置,其 中该膜片系与该细缝式涂布喷嘴为一体成型。 5.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置,其 中该膜片系利用接着剂固定于该细缝式涂布喷嘴 上。 6.如申请专利范围第3项所述之细缝式涂布装置,其 中该膜片系利用接着剂固定于该细缝式涂布喷嘴 之外侧。 7.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置,其 中该膜片系利用螺丝固定于该细缝式涂布喷嘴上 。 8.如申请专利范围第3项所述之细缝式涂布装置,其 中该膜片系利用螺丝固定于该细缝式涂布喷嘴之 外侧。 9.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置,其 中该膜片系利用固定柱夹击固定于该细缝式涂布 喷嘴上。 10.如申请专利范围第2项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系利用固定柱夹击固定于该细缝式涂 布喷嘴内侧。 11.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片之表面系一奈米涂层,使其不易沾附涂 布材料。 12.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系一种非金属材料。 13.如申请专利范围第1项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系一种金属材料。 14.一种细缝式涂布装置,至少包含: 一基座,承载一基材; 一细缝式涂布喷嘴,位于基座上方;以及 一膜片,固定于该细缝式涂布喷嘴上,该膜片由该 细缝式涂布喷嘴向外延伸,且该膜片之宽度涵盖该 细缝式涂布喷嘴之吐出范围,当该细缝式涂布喷嘴 与该基座藉相对运动以挤压涂布材料于该基材上 时,该膜片可增加涂膜时的稳定性而且该膜片之表 面系一奈米涂层,使其不易沾附该涂布材料。 15.如申请专利范围第14项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系固定于该细缝式涂布喷嘴之内侧。 16.如申请专利范围第14项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系与该细缝式涂布喷嘴为一体成型。 17.如申请专利范围第14项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系利用螺丝固定于该细缝式涂布喷嘴 上。 18.如申请专利范围第15项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系利用固定柱夹击固定于该细缝式涂 布喷嘴内侧。 19.如申请专利范围第14项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系一种非金属材料。 20.如申请专利范围第14项所述之细缝式涂布装置, 其中该膜片系一种金属材料。 21.如申请专利范围第14项所述之细缝式涂布装置, 其中该奈米涂层之材料系金、银、铂、金银铂各 别之合金、氧化钛、氧化锌或氧化铝。 图式简单说明: 第1图系绘示习知细缝式涂布法涂布时的情形; 第2A图系绘示依照本发明一较佳实施例的一种细 缝式涂布装置的侧视图; 第2B图系绘示依照本发明一较佳实施例的一种细 缝式涂布装置的立体图; 第3A及3B图系分别绘示依照本发明一较佳实施例的 一种细缝式涂布装置之膜片的两种固定位置; 第4图系绘示依照本发明一较佳实施例的一种细缝 式涂布装置之经奈米表面处理后的膜片; 第5A、5B及5C图系分别绘示依照本发明一较佳实施 例的一种细缝式涂布装置之膜片的三种固定方式; 以及 第6图绘示依照本发明一较佳实施例的一体成型之 细缝式涂布喷嘴之剖面图。
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