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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6353946(A) 申请公布日期 1988.03.08
申请号 JP19860196609 申请日期 1986.08.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKATANI ATSUSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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