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发明名称
VAPOR DEPOSITION DEVICE USING ELECTRON GUN
摘要
申请公布号
JPS6350461(A)
申请公布日期
1988.03.03
申请号
JP19860195763
申请日期
1986.08.21
申请人
ANELVA CORP
发明人
YAMAMOTO HISASHI
分类号
C23C14/30;H01J37/06
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
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