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经营范围
发明名称
VACUUM GATE VALVE
摘要
申请公布号
JPS6348737(A)
申请公布日期
1988.03.01
申请号
JP19860192477
申请日期
1986.08.18
申请人
TOSHIBA MACH CO LTD
发明人
MUTO TEIICHI
分类号
H01L21/265;F16K3/16;H01J37/317
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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