| 发明名称 | 菱形金属纳米粒子阵列结构制作法 | ||
| 摘要 | 菱形金属纳米粒子阵列结构制作法：(1)选取精抛光的硅酸盐玻璃作为基板，在玻璃表面沉积一层几纳米厚的铬；(2)将直径比例为1∶2.5的两种单分散聚苯乙烯纳米球按比例混合；(3)用化学方法对镀铬玻璃板进行亲水化处理；(4)在经过亲水化处理后的镀铬玻璃板表面自组装一层混合聚苯乙烯纳米球；(5)采用反应离子刻蚀机(RIE)对制作的聚苯乙烯纳米球自组装层进行刻蚀，把直径小的聚苯乙烯纳米球完全刻蚀掉；(6)用刻蚀后的聚苯乙烯纳米球自组装层做模具，在球与球的间隙处填充金属；(7)去除聚苯乙烯纳米球自组装层，得到菱形金属纳米粒子列阵结构。利用本发明制作的阵列化的金属纳米列阵结构可应用于生物传感领域，实现多种生物分子的多通道快速检测。 | ||
| 申请公布号 | CN101143710A | 申请公布日期 | 2008.03.19 |
| 申请号 | CN200710176011.5 | 申请日期 | 2007.10.17 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 罗先刚;李飞;邓启凌;杜春雷 |
| 分类号 | B82B3/00(2006.01) | 主分类号 | B82B3/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 贾玉忠;卢纪 |
| 主权项 | 1.菱形金属纳米粒子阵列结构制作法，其特征在于包括下列步骤：(1)选取精抛光的硅酸盐玻璃作为基板材料，在其表面沉积一层5nm～10nm纳米厚的铬；(2)采用直径比例为1∶2.5～3的两种单分散聚苯乙烯纳米球水溶胶按1∶4.3～5.2的比例混合；(3)用化学方法对镀铬玻璃板进行亲水化处理；(4)在经过亲水化处理后的镀铬玻璃板表面自组装一层聚苯乙烯纳米球；(5)采用反应离子刻蚀机RIE工艺对制作的聚苯乙烯纳米球自组装层进行刻蚀，把直径小的聚苯乙烯纳米球完全刻蚀掉；(6)利用刻蚀后的聚苯乙烯纳米球自组装层做模具，利用真空镀膜机在模板表面沉积一层40～50纳米厚的金属膜；(7)去除聚苯乙烯纳米球自组装层，仅留下球与球的间隙处的金属；得到阵列化的金属纳米列阵结构。 | ||
| 地址 | 610209四川省双流350信箱 | ||