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发明名称 METHOD OF TREATING PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP0233333(A3) 申请公布日期 1988.02.24
申请号 EP19860116308 申请日期 1986.11.25
申请人 USHIO DENKI 发明人 TANAKA, KAZUYA;UEKI, KAZUYOSHI;SUZUKI, HIROKO;MIMURA, YOSHIKI;SUZUKI, SHINJI;SUGIOKA, SHINJI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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