首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
DRYETCHING PROCESS
摘要
申请公布号
JPS6342126(A)
申请公布日期
1988.02.23
申请号
JP19860185109
申请日期
1986.08.08
申请人
HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD;HITACHI LTD
发明人
MATSUZAKI SAKAE;ONO RYOICHI
分类号
H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
增强人体五脏机能的五行果蔬营养制剂及其制备方法
一种强化循环式活性污泥法脱氮的实时控制方法
一种蠕虫状介孔氧化铌的合成方法
用于制造三维微成型体的感光性干薄膜和感光性树脂组合物
探针式电路板测试制具的固定方法
纳米聚合物胶束药物传递系统和制备方法及应用
一种基于BP神经网络的嵌入式系统数据压缩解压缩方法
水稻耐逆性相关受体类蛋白OsSIK1及其编码基因与应用
IP多媒体子系统(IMS)中的呼叫前转
用于紧固件的锚定组件
哌嗪取代的环己烷1,4-二胺
一种磷酸铁锂铝壳10安时圆柱电池及其制作工艺
淀粉基炭微球的制备方法
双核茂金属配合物及其应用
微波炉咖啡壶的防脱落结构
一种人造复合木纹石砂岩板材的制作方法
自动添加清洗溶液的细旦丝喷丝板乙二醇清洗装置
镁基铝酸镧热障涂层材料的制备方法
冶金废料高配比用于烧结矿的烧结工艺
具有优异物理性质、生产性和品质一致性的微孔性聚乙烯膜及其制造方法