发明名称 DRYETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 JPS6342126(A) 申请公布日期 1988.02.23
申请号 JP19860185109 申请日期 1986.08.08
申请人 HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD;HITACHI LTD 发明人 MATSUZAKI SAKAE;ONO RYOICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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