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发明名称 ION IMPLATATION METHOD
摘要
申请公布号 JPS6341019(A) 申请公布日期 1988.02.22
申请号 JP19860185514 申请日期 1986.08.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 YAMAMOTO HIDETSUGU
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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