发明名称
摘要
申请公布号 JPS6324277(U) 申请公布日期 1988.02.17
申请号 JP19860114558U 申请日期 1986.07.28
申请人 发明人
分类号 C30B27/02;C30B29/40;C30B29/42;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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