发明名称 IC TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6336163(A) 申请公布日期 1988.02.16
申请号 JP19860177548 申请日期 1986.07.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWAGUCHI IKUO;KIKUCHI SHUJI;HAMABE KAZUTOMO
分类号 G01R31/316;G01R31/28;G01R31/3183 主分类号 G01R31/316
代理机构 代理人
主权项
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