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发明名称 WORKING OF DIAMOND
摘要
申请公布号 JPS6334927(A) 申请公布日期 1988.02.15
申请号 JP19860178038 申请日期 1986.07.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KITAHATA MAKOTO;WASA KIYOTAKA
分类号 C30B33/00;C23F4/00;C30B33/04;C30B33/06;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
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