| 主权项 |
1.一种基板搬入出装置,是属于收纳基板的收纳容器搬入或搬出上述的基板的基板搬入出装置,其特征为具备:载置有邻接于上述收纳容器所配置的上述基板所载置的载置台;设置成可将该载置台上朝上述基板的搬入出方向移动,且保持上述基板的保持部,以及将保持于该保持部的上述基板在上述载置台上朝上述搬入出方向可移动地支持的基板支持手段。2.如申请专利范围第1项所述的基板搬入出装置,其中,上述保持部具有握持上述基板的握持手段。3.如申请专利范围第1项所述的基板搬入出装置,其中,上述保持部具有吸附上述基板的吸附手段。4.如申请专利范围第1项所述的基板搬入出装置,其中,上述基板支持手段是旋转自如地支持于正交于上述搬入出方向的旋转周围的滚子。5.如申请专利范围第1项所述的基板搬入出装置,其中,上述支持手段是利用在上述基板下面吐出空气而从上述载置台浮起该基板的浮起机构。6.一种基板搬入出方法,属于对于收纳基板的收纳容器进行搬入或搬出上述基板的基板搬入出方法,其特征为具备:藉由保持部保持上述基板的端部的保持工程,及将保持上述基板的上述保持部朝上述基板的搬入出方向移动的移动工程。7.如申请专利范围第6项所述的基板搬入出方法,其中,在上述移动工程之际,将上述基板朝上述搬入出方向可移动地支持。8.一种基板搬运装置,属于在收纳基板的收纳容器与处理上述基板的基板处理装置之间搬运上述基板的基板搬运装置,其特征为具备:对于上述收纳容器搬入出上述基板的移载机构;装载该移载机构,且载置被搬入出于上述收纳容器的上述基板的载置台;在该载置台与上述基板处理装置之间交接上述基板的交接机构;设于上述收纳容器与上述基板处理装置之间的移动轨;以及装载上述载置台与上述交接机构,而可移动在上述移动轨上的移动台。9.如申请专利范围第8项所述的基板搬运装置,其中,上述移动机构是旋转驱动在正上述搬入出方向的旋转轴周围的驱动滚子。10.如申请专利范围第8项所述的基板搬运装置,其中,上述移动机构具有朝上述搬入出方向被旋转驱动的无端环带的驱动运送机。11.如申请专利范围第8项所述的基板搬运装置,其中,上述移动机构具备保持上述基板的保持部,及将被保持在该保持部的上述基板朝上述搬入出方向可移动地支持的基板支持手段。12.如申请专利范围第11项所述的基板搬运装置,其中,基板支持手段是利用在上述基板下面吐出空气而从上述载置台浮起该基板的浮起机构。13.一种基板搬运方法,属于在收纳基板的收纳容器与处理上述的基板的基板处理装置之间,而载置被搬入出至上述收纳容器的上述基板的载置台,及在该载置台与上述基板处理装置之间中介交接上述基板的交接机构,搬运上述基板的基板搬运方法,其特征为具备:在上述收纳容器与上述载置台之间搬入出上述基板的搬入出工程;在上述载置台与上述交接机构之间移换上述基板的移换工程;将上述交换机构移动在上述载置台与上述基板处理装置之间的移动工程;以及在上述交接机构与上述基板处理装置之间交接上述基板的交接工程。14.如申请专利范围第13项所述的基板搬运方法,其中,上述移换工程与上述移动工程同时地进行。15.如申请专利范围第14项所述的基板搬运方法,其中,在上述搬入出工程之际同时地搬入出复数的上述基板。图式简单说明:第1图是表示利用本发明的第一实施形态的基板搬入出装置用以制造基板的整体装置的立体图。第2图是表示本发明的基板搬入出装置的实施例的立体图。第3图是表示图示于第2图的线笼的前视图。第4图是表示图示于第2图的线笼的侧视图。第5图是表示图示于第2图的线笼的俯视图。第6图是表示下降线笼时,基板支持台从线笼的下部开口插入的状态的立体图。第7图是表示第6图的状态的侧视图。第8图是表示利用下降线笼,基板支持台抬高位于线笼内的最下位的基板而从基板支持部分离的状态的侧视图。第9图是表示在第8图中,将载置台的保持构件移动成位于基板端部下部的状态的侧视图。第10图是表示藉由保持构件的吸附口一面吸附保持基板一面移动保持构件,而从线笼搬出基板的状态的侧视图。第11图是表示利用本发明的第二实施形态的基板搬入出装置用以制造基板的整体装置的立体图。第12图是表示图示于第11图的基板搬运装置的立体图。第13图是表示图示于第12图的线笼的前视图。第14图是表示图示于第12图的线笼的侧视图。第15图是表示图示于第12图的线笼的俯视图。第16图是表示图示于第12图的基板搬运装置的构成品的基板载置台的俯视图。第17图是表示图示于第12图的基板搬运装置的构成品的基板载置台的后视图。第18图是表示用以说明将基板从基板支持台搬出至基板载置台而交接到基板处理装置的图式;表示在基板支持台上载置基板,而在该基板支持台邻接配置有基板载置台的状态的侧视图。第19图是表示从第18图的状态将上部载置台移动至第二棒状构件的上方,同时将基板搬出到该上部载置台的状态的侧视图。第20图是表示从第19图的状态将上部载置台予以下降而将基板载换至第二棒状构件上的状态的侧视图。第21图是表示从第20图的状态将整体基板载置台予以上昇,俾将基板支持台的高度与上部载置台的高度作成相同,同时将基板搬出至该上部载置台的状态的侧视图。第22图是表示从第21图的状态将上部载置台予以下降而将基板载换至第一棒状构件上的状态的侧视图。第23图是表示从第22图的状态将基板载置台一直移动至基板处理装置之后,朝前方推出第二棒状构件而将基板交接到基板处理装置的状态的侧视图。第24图是表示从第23图的状态将第一棒状构件朝前方推出而将基板交接至基板处理装置的状态的侧视图。第25图是表示利用本发明的第三实施形态的基板搬入出装置用以制造基板的整体装置的立体图。第26图是表示在图示于第25图的基板搬运装置中,藉由交接机构从基板支持台接受基板的状态的立体图。第27图是表示移载装置的另一例的侧视图。第28图是表示习知的基板搬入出装置的一例的侧视图。 |
