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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6333562(A) 申请公布日期 1988.02.13
申请号 JP19860174232 申请日期 1986.07.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IWANAGA TAKEAKI;KAJIKAWA NOBUHIRO
分类号 C23C14/34;C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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