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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS6332917(A) 申请公布日期 1988.02.12
申请号 JP19860175544 申请日期 1986.07.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 TODOROKI SATORU;OBE ISAO;KASHIWADA YASUTOSHI;SATO AKIHIKO;YAMADA SEIICHI
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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