发明名称
摘要
申请公布号 JPS6318834(U) 申请公布日期 1988.02.08
申请号 JP19860112024U 申请日期 1986.07.23
申请人 发明人
分类号 F04B37/16;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
主权项
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