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发明名称 MANUFACTURE OF MULTILAYER THIN-FILM STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS6329936(A) 申请公布日期 1988.02.08
申请号 JP19860174490 申请日期 1986.07.23
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO YOSHINARI
分类号 H01L21/314;H01L21/318;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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