发明名称 ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 JPS6326941(A) 申请公布日期 1988.02.04
申请号 JP19860169730 申请日期 1986.07.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWASUMI KENICHI;INADA AKIISA
分类号 H01J61/32 主分类号 H01J61/32
代理机构 代理人
主权项
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