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发明名称 FORMATION OF CUBIC BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPS6326349(A) 申请公布日期 1988.02.03
申请号 JP19860170428 申请日期 1986.07.18
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 IKEDA TSUTOMU;KOBASHI KOJI
分类号 C23C14/06;C23C14/32;C23C14/46 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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