| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL 3-5 SEMI-INSULATING SUBSTANCE BY DOPING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6325297(A) |
申请公布日期 |
1988.02.02 |
| 申请号 |
JP19870085601 |
申请日期 |
1987.04.07 |
| 申请人 |
FRANCE ETAT |
发明人 |
BERUNAARU RANBEERU;IBU TOUDEIKU;RUNE KOKIIYU |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B11/00;C30B15/00;C30B15/04;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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