发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6321850(A) 申请公布日期 1988.01.29
申请号 JP19860167115 申请日期 1986.07.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IKEGAMI MASAAKI;NAKAMURA MITSUYOSHI;ARAI HAJIME;OBATA MASANORI;ARIMA JUNICHI;MORIYA JUNICHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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