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发明名称
TREATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS6321818(A)
申请公布日期
1988.01.29
申请号
JP19860166105
申请日期
1986.07.15
申请人
SONY CORP
发明人
NOGUCHI TAKASHI;MORITA YASUSHI
分类号
H01L21/20;H01L21/324
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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