发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6319828(A) 申请公布日期 1988.01.27
申请号 JP19860163637 申请日期 1986.07.14
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 TAKAHASHI MITSUO;IWABUCHI KATSUHIRO;KUROSU TOSHIKI;NAKAJIMA YOICHI
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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