CUBIC BORON NITRIDE PREPARATION.

摘要

Procédé de production de revêtements comprenant du nitrure de bore cubique sur un substrat (7). Le procédé consiste à effectuer un dépôt par pulvérisation au magnétron d'une source chauffée de nitrure de bore (4) dans une atmosphère sous vide (6) possédant une pression partielle limitée d'azote et un gaz noble. Pendant la pulvérisation cathodique de la source de nitrure de bore (4), un dopant métallique sélectionné parmi les groupes IA, IVA, VA, VIIA, IB, IIB, IIIB, IVB et VB du tableau périodique est déposé en une concentration inférieure à 1,5% atomique, ce dopant métallique étant de préférence Al ou Cu.