发明名称 VARIABLE-CAPACITANCE TRANSDUCER FOR MEASURING THICKNESS OF DEPOSITION FILM
摘要
申请公布号 SU1366872(A1) 申请公布日期 1988.01.15
申请号 SU19864085720 申请日期 1986.07.14
申请人 YUKHIMYUK ZHORZH G,SU;KOSTISHIN VLADIMIR G,SU;KOMAN BOGDAN P,SU 发明人 YUKHIMYUK ZHORZH G,SU;KOSTISHIN VLADIMIR G,SU;KOMAN BOGDAN P,SU
分类号 G01B7/06 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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