| 发明名称 |
METHOD OF DIFFUSING MATERIAL PROVIDING CONDUCTIVITY TYPE INTO COMPOUND SEMICONDUCTOR MATERIAL OF GROUP III-V |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS637623(A) |
申请公布日期 |
1988.01.13 |
| 申请号 |
JP19870155637 |
申请日期 |
1987.06.24 |
| 申请人 |
GTE LAB INC |
发明人 |
MOOSHIE OOREN;EI ENU EMU MASUMU CHIYOUDOURII |
| 分类号 |
H01L21/22;C30B29/40;C30B31/08;H01L21/223;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
