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发明名称 JIG FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS634627(A) 申请公布日期 1988.01.09
申请号 JP19860149268 申请日期 1986.06.24
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HIROTA KOJI;ITO MICHIHARU;YAMAMOTO KOSAKU
分类号 H01L21/208;H01L21/368 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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