发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS634632(A) 申请公布日期 1988.01.09
申请号 JP19860146876 申请日期 1986.06.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 MAEMA TETSUYA;SATO EIICHIRO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址
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