| 发明名称 |
CORERECTION FOR DEFLECTING DISTORTION IN FOCUSED ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS632320(A) |
申请公布日期 |
1988.01.07 |
| 申请号 |
JP19860144897 |
申请日期 |
1986.06.23 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
MIYAUCHI EIZO;HASHIMOTO TOSHIO |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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