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经营范围
发明名称 APPARATUS FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 JPS632323(A) 申请公布日期 1988.01.07
申请号 JP19860144848 申请日期 1986.06.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUJII KANJI;YAJIMA YUSUKE;MURAYAMA SEIICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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