| 发明名称 |
SPUTTER FORMING DEVICES FOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63465(A) |
申请公布日期 |
1988.01.05 |
| 申请号 |
JP19860141925 |
申请日期 |
1986.06.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OGAWA SHINICHI;TERUI YASUAKI |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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